近日，果果仪器顺利完成一项重要交付——为某科研用户提供六探针冷热台（型号：ECH400V-EB）。该设备在常规探针台的基础上集成液氮致冷与电阻加热温控系统，覆盖-190℃~400℃宽温区，配备六路钨钢镀金同轴探针，常温漏电流低于100fA，满足多电极器件、半导体材料及二维材料在变温环境下的高精度原位电学测试需求。
客户需求：突破常规探针台的温区与通道限制
常规探针台多局限于室温环境下的电学测试，而该用户的测试场景涉及材料在低温至高温宽温区内的电输运特性表征，面临以下核心挑战：
• 原位冷热环境缺失：常规探针台不具备主动温控能力，无法实现材料在变温过程中的原位电学测试，而将样品转移至独立温控设备后再测试，会引入环境变化和接触偏差。
• 探针通道数不足：市面常见的冷热探针台多为4探针配置，难以满足多电极器件（如MOSFET、霍尔 bar、传感器阵列）的多通道并行测试需求。
• 微弱信号采集困难：高温下热噪声增大、低温下信号幅值降低，对探针系统的漏电流水平和屏蔽性能提出极高要求，常规探针台难以兼顾宽温区与低噪声。
• 真空与气氛兼容：高温下样品易氧化，需在高真空或保护气氛环境下完成测试，对腔室密封性和真空度有严格要求。
解决方案：果果仪器外部调节六探针冷热台
果果仪器为该用户定制开发的六探针冷热台 ECH400V-EB，在单一平台上同时实现了宽温区冷热环境、六通道独立探针调节与超低漏电流设计，核心参数如下：
1、型号：ECH400V-EB
2、冷热方式：液氮致冷，电阻加热
3、温度范围：-190℃ ~ 400℃
4、温度稳定性：±0.1℃（-190℃~120℃：±0.3℃）
5、最大升温速率：150℃/min
6、最大降温速率：40℃/min
7、载样台：银质，23×23mm
8、光路：反射
9、上视窗：φ25mm×1mm，氟化钙（130nm~10μm）可更换
10、探针配置：钨钢镀金同轴探针×6，漏电流＜100fA（常温）
11、探针调节行程：＞±5mm
12、探针接口：三同轴BNC×6
13、腔室真空度：5×10⁻⁵ torr
三大核心优势：
优势一：六探针独立精密调节，突破4探针通道限制
区别于市面上常见的4探针冷热台，ECH400V-EB配备六路钨钢镀金同轴探针，每路均通过微分头实现XYZ三轴独立精细调节，行程＞±5mm。六通道配置使单次装样即可完成更多电极的同步接触，显著提升多端口器件的测试效率，尤其适用于霍尔器件、多栅MOSFET、传感器阵列等需要多探针并行接入的场景。
优势二：-190℃ ~ 400℃ 宽温区原位冷热环境
设备集成液氮致冷与电阻加热双模式，覆盖-190℃至400℃宽温区，最大升温速率达150℃/min，最大降温速率40℃/min。配合银质载样台（23×23mm）实现均匀导热，温度稳定性±0.1℃，可在变温过程中实时追踪材料的电学性能演化，填补了常规探针台无法提供可控温区的空白。
优势三：超低漏电流设计，保障宽温区微弱信号可靠性
采用钨钢镀金同轴探针搭配三同轴BNC接口，常温下漏电流低于100fA，有效抑制电磁干扰与泄漏电流。配合高真空腔室（5×10⁻⁵ torr）与氟化钙视窗（透射波段130nm~10μm），在宽温区变温过程中为低维材料、单纳米器件等高阻抗测试提供稳定的低噪声环境。
本次交付的六探针冷热台ECH400V-EB将纳入用户的测试设备体系，支撑其在半导体器件、先进材料电学表征等领域的研发与生产测试需求。果果仪器技术团队同步提供了全面的操作培训与技术文档支持，确保设备快速投入使用。
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